在芯片的制造過程中,需要給晶圓涂上光刻膠,再用光刻機進行刻錄。而光刻膠按照工藝的不同,也分為分別為g線、i線、KrF、ArF、EUV。
g線、i線主要用于250nm以上工藝,相對落后;KrF一般用于250nm-130nm工藝;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工藝;EUV光刻膠就是配合EUV光刻機,主要用于7nm及以下工藝。
在光刻膠領域,國內是比較落后的,總體自給率不足10%,其中分開來看,g線/i線自給率約為20%,KrF光刻膠的自給率不足5%,至于ArF、EUV光刻膠,不好意思,無法生產,100%得靠進口,自給率為0%。
而日本是全球光刻膠領域最牛的國家,在g線/i線、KrF、ArF、EUV膠市場中市占率分別為61%、80%、93%,100%。
所以日本廠商的光刻膠是全球的緊缺貨,一旦日本不供應光刻膠,全球的芯片產業(yè)都要受到影響。
而近日,這樣的事情終于發(fā)生了,據媒體報道稱,由于KrF光刻膠產能受限,而全球芯片產能卻不斷擴產,再加上2月份的日本福島地震,影響了光刻膠的產能。
所以日本的信越化學開始中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,甚至開始向部分中小晶圓廠停供KrF光刻膠,后續(xù)可能還會有更多的廠商,甚至會牽涉到ArF光刻膠的供應。
而KrF用于250nm-130nm工藝,ArF用于130nm-14nm工藝,這也正是國內眾多晶圓廠使用的工藝,業(yè)內人士預測未來國內多家晶圓廠或將面臨KrF、ArF光刻膠大缺貨的處境。
目前中國正在大力發(fā)展半導體,不知道這件事情,有沒有讓大家感受到絲絲涼意?
事實上,在半導體材料、半導體設備等領域,目前國內的產業(yè)鏈確實還是比較落后的,依賴國外的地方也比較多,所以接下來,我們不僅僅要發(fā)展芯片制造本身,還需要加強對上游材料、設備等的重視和投入,你覺得呢?